ExSolve WTP DualBeam

Thermo Scientific™ ExSolve™ DualBeam™ (FIB-SEM) е систем за подготовка на вафери за анализа на трансмисионен електронски микроскоп (WTP). Тој значително ги намалува трошоците и ја зголемува брзината на подготовка на примероците, со што на производителите на полупроводници и производителите на уреди за складирање податоци им овозможува брз и лесен пристап до анализите потребни за надгледување и верификација на перформансите на процесот. Thermo Scientific ExSolve DualBeam може да подготви ТЕМ ламела од специфична локација на примерокот, земајќи примероци од многу локации по вафер во целосно автоматизиран процес кој се одвива внатре во фабриката. Ова им дава на производителите на полупроводници многу повеќе информации од конвенционалните методи, додека истовремено се намалуваат капиталните трошоци за подготовка на примерокот и до 70 проценти.